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 现行标准检索 |
| 标准编号 |
DIN 50455-1-2009 |
标准名称 |
半导体技术用材料的试验.表征光阻剂方法.第1部分:涂层厚度的光学法测定 |
| 英文名称 |
Testing of materials for semiconductor technology - Methods for characterizing photoresists - Part 1: Determination of coating thickness with optical methods |
代
替 号 |
DIN 50455-1-2008;DIN 50455-1-1991 |
| 采用标准 |
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| 归口单位 |
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| 起草单位 |
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分
类 号 |
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国际分类号 |
29.045 |
发布日期 |
2009-10 |
实施日期 |
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| 内容介绍 |
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