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《单晶炉能源消耗规范》行业标准报批
来源:中国电子工业标准技术网 日期:2009/1/16 15:45:42
本标准规定了单晶炉能源消耗指标、计算原则、计算方法和评价原则。
本标准适用于装料量为60 kg~150 kg的单晶炉。
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